激光束可以聚焦到很小的尺寸，因而特別適合于精密加工。按照加工材料的尺寸大小和加工的精度要求，將目前的激光加工技術分為三個層次：
（1）大型件材料激光加工技術，以厚板（數毫米至幾十毫米）為主要對象，其加工精度一般在毫米或者亞毫米級；
（2）精密激光加工技術，以薄板（0．1～1．0 mm）為主要加工對象，其加工精度一般在十微米級；
（3）激光微細加工技術，針對厚度在100μm以下的各種薄膜為主要加工對象，其加工精度一般在十微米以下甚至亞微米級。
在機械行業中，精密通常是指表面粗糙度小、各種公差（包括位置、形狀、尺寸等）范圍小。這里所說的“精密”，是指被加工區域的縫隙小，就是說加工所能達到的極限尺寸小。
在上述三類激光加工中，大型件的激光加工技術已經日趨成熟，產業化的程度已經非常高；激光微細加工技術如激光微調、激光精密刻蝕、激光直寫技術等也已在工業上得到了較為廣泛的應用。
